[实用新型]一种团簇离子束沉积基片架有效
| 申请号： | 201721588955.9 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207451616U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 付德君;李娜;曾晓梅 | 申请（专利权）人： | 武汉江海行纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;H01J37/252;B82Y40/00;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 沈林华 |
| 地址： | 430000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种团簇离子束沉积基片架，涉及夹具技术领域。基片架包括两个纵梁和两个横梁，纵梁和横梁互相垂直连接并形成矩形框架结构，两个纵梁之间以及两个横梁之间均设有至少一个支杆，支杆将框架结构所围成的区域分隔为放置独立基片的内部框架，横梁和纵梁的上表面靠近框架结构内侧均开设有长条形安装槽，支杆的两端底面与安装槽在形状上彼此互补，并可沿安装槽的长度方向滑动，相交的两个支杆中，位于上方的支杆的两端可拆卸地安装于安装槽上；每个支杆的中段均设有第一长槽孔，相交的两个支杆通过卡接件连接。本实用新型能够确保相交的支杆相互垂直，而且只需固定位于上方的支杆的两端，操作简单，提高更换基片架的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 支杆 基片架 横梁 纵梁 安装槽 相交 本实用新型 离子束沉积 框架结构 团簇 长条形安装槽 夹具技术领域 矩形框架结构 独立基片 互相垂直 两端底面 内部框架 区域分隔 滑动 长槽孔 卡接件 可拆卸 上表面 中段 垂直 | ||
【主权项】：
一种团簇离子束沉积基片架，其包括两个纵梁(1)和两个横梁(2)，所述纵梁(1)和横梁(2)互相垂直连接并形成矩形框架结构，两个所述纵梁(1)之间以及两个所述横梁(2)之间均设有至少一个支杆(3)，所述支杆(3)将框架结构所围成的区域分隔为放置独立基片的内部框架，其特征在于：所述横梁(2)和纵梁(1)的上表面靠近框架结构内侧均开设有长条形安装槽(4)，所述支杆(3)的两端底面与所述安装槽(4)在形状上彼此互补，并可沿所述安装槽(4)的长度方向滑动，相交的两个支杆(3)中，位于上方的所述支杆(3)的两端可拆卸地安装于所述安装槽(4)上；每个所述支杆(3)的中段均设有第一长槽孔(31)，相交的两个所述支杆(3)通过卡接件(5)连接。
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