[实用新型]一种硅片脱胶固定装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片脱胶固定装置，包括底座，所述底座上固定有两个相互平行的支撑板，支撑板左右两侧设有第二滑槽，第二滑槽与支撑腿滑动连接，所述底座上表面固定有齿条，齿条设置在支撑板的右侧，齿条上方设置有与其相啮合的齿轮，齿轮安装在电机的主轴上，电机固定在底板的右侧下表面，所述底座上安装有支撑架，支撑架的右侧方安装有PLC控制器，支撑架的中部与电动伸缩杆的上端连接，电动伸缩杆下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘，支撑腿的上端设有底板，底板上方设有载物槽，载物槽的左侧安装固定挡板。灵活可控，且可以有效固定，减少碎片率，整个装置简单，操作方便。

主权项

1.一种硅片脱胶固定装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定有两个相互平行的支撑板(2)，支撑板(2)左右两侧设有第二滑槽(18)，第二滑槽(18)与支撑腿(17)滑动连接，所述底座(1)上表面固定有齿条(3)，齿条(3)设置在支撑板(2)的右侧，齿条(3)上方设置有与其相啮合的齿轮(7)，齿轮(7)安装在电机(19)的主轴上，电机(19)固定在底板(20)的右侧下表面，所述底座(1)上安装有支撑架(4)，支撑架(4)的右侧方安装有PLC控制器(5)，支撑架(4)的中部与电动伸缩杆(12)的上端连接，电动伸缩杆(12)下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘(13)，支撑腿(17)的上端设有底板(20)，底板(20)上方设有载物槽(11)，载物槽(11)的左侧安装固定挡板(14)，载物槽(11)的右侧滑动连接有滑动挡板(8)，所述支撑架(4)的内侧和载物槽(11)的右侧对应安装有光电开关(6)，所述PLC控制器(5)的输入端分别与光电开关(6)和外部电源的输出端电连接，PLC控制器(5)的输出端与电动伸缩杆(12)、电磁吸盘(13)和电机(19)的输入端电连接。