[实用新型]一种MEMS行波型微马达结构有效
| 申请号： | 201721606522.1 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN207691705U | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 杜亦佳;陈余;代刚;周泉丰;李小石;弓冬冬;颜薪瞩;杨婷婷 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H02N2/16 | 分类号： | H02N2/16;H02N2/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS行波型微马达结构，包括转子结构、定子行波驱动器结构和预紧力结构，所述定子行波驱动器结构下端与所述预紧力结构固定连接，所述转子结构包括转子壳体和转子，所述转子与所述定子行波驱动器结构紧密压紧在一起，所述转子壳体套设在所述转子的外面。通过以上结构设计，基于MEMS工艺的马达包括转子结构、定子行波驱动器结构和预紧力结构，信号互连不需要键合引线，使得器件结构更加紧凑尺寸更加小，本实用新型提出的马达结构通过键合即可完成组装，因此具有装配少，方便批量化生产的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动器结构 行波 预紧力结构 转子 马达结构 转子结构 本实用新型 转子壳体 行波型 键合引线 器件结构 信号互连 批量化 键合 下端 压紧 马达 紧凑 装配 组装 生产 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS行波型微马达结构，其特征在于：包括转子结构、定子行波驱动器结构和预紧力结构，所述定子行波驱动器结构下端与所述预紧力结构固定连接，所述转子结构包括转子壳体和转子，所述转子与所述定子行波驱动器结构紧密压紧在一起，所述转子壳体套设在所述转子的外面。
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