[实用新型]一体式单晶炉底腔

摘要

本实用新型提出一种一体式单晶炉底腔，包括下炉体与炉底盘，下炉体顶部与上炉体相连，其底部与炉底盘相连，炉底盘置于基座上，下炉体两端开口，其顶部边缘具有转接环，转接环向下炉体外侧伸出，下炉体通过该转接环与上炉体相连，下炉体底部具有底板，底板的直径大于下炉体的直径，由底板将下炉体底部封住；炉底盘的直径与底板一致，炉底盘中部向下方凸出，其边缘与炉底盘边缘焊接相连，在炉底盘与底板之间形成隔离腔，底板底部焊接有隔条，隔条沿底板中心向外螺旋延伸，在隔离腔内形成底部螺旋水路。该单晶炉底腔把炉底盘与下炉体设计成一个整体，炉底盘与下炉体的法兰用焊接方式进行结合，可节约零件加工时间，减少装配时间，节约材料成本。

主权项

1.一体式单晶炉底腔，包括下炉体与炉底盘，下炉体顶部与上炉体相连，其底部与炉底盘相连，炉底盘置于基座上，其特征在于：下炉体两端开口，其顶部边缘具有转接环，转接环向下炉体外侧伸出，下炉体通过该转接环与上炉体相连，下炉体底部具有底板，底板的直径大于下炉体的直径，由底板将下炉体底部封住；炉底盘的直径与底板一致，炉底盘中部向下方凸出，其边缘与炉底盘边缘焊接相连，在炉底盘与底板之间形成隔离腔，底板底部焊接有隔条，隔条沿底板中心向外螺旋延伸，在隔离腔内形成底部螺旋水路，底板中部设有轴套，轴套顶端与下炉体内部连通，其底端贯穿炉底盘向外伸出，轴套底端具有卷边，卷边向轴套外侧翻卷，轴套外部包覆有套壳，套壳一端焊接于炉底盘底部，其另一端与卷边焊接相连，套壳的直径大于轴套的直径，在套壳与轴套之间形成冷却腔，冷却腔与底部螺旋水路内端连通，炉底盘底部焊接有进水管，进水管内端与底部螺旋水路外端连通，套壳侧壁具有焊接有出水管，出水管内端与冷却腔连通，进水管及出水管外端与供水设备连通，由供水设备向隔离腔及冷却腔内输入冷却水。