[实用新型]一种X-CT系统用测量夹具有效
| 申请号： | 201721626135.4 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN207457105U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 荆晓冬;梁法国;郑世棋;吴爱华;翟玉卫;王一帮;刘晨;乔玉娥 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01N23/046 | 分类号： | G01N23/046 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张二群 |
| 地址： | 050000 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种X‑CT系统用测量夹具，属于测试夹具领域。所述测量夹具包括：样品台，底面设置与扫描转台匹配的定位凹台；载片柱，下部与所述样品台螺纹连接，且所述载片柱的旋转轴与所述样品台的旋转轴平行，中部为柱体，上部为设置在所述柱体顶面上、与所述柱体成一体结构的透明薄板；胶片，用于粘结待测器件，粘贴在所述透明薄板的表面。上述技术方案中，透明薄板不会相对样品台产生相对位移，进而微小器件也不会发生位移，测量结果准确、可靠，同时透明薄板减小了对X射线的衰减，实现了用X‑CT高准确度地测量微小器件的结构，填补了微小器件测试夹具的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 透明薄板 样品台 测量夹具 微小器件 柱体 测试夹具 旋转轴 本实用新型 准确度 待测器件 定位凹台 螺纹连接 扫描转台 相对位移 一体结构 底面 减小 片柱 衰减 载片 粘结 胶片 粘贴 匹配 平行 测量 填补 | ||
【主权项】：
一种X‑CT系统用测量夹具，其特征在于，包括：样品台，底面设置与扫描转台匹配的定位凹台；载片柱，下部与所述样品台固定连接，且所述载片柱的旋转轴与所述样品台的旋转轴平行，中部为柱体，上部为设置在所述柱体顶面上、与所述柱体成一体结构的透明薄板；胶片，用于粘结待测器件，设置在所述透明薄板的表面。
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