[实用新型]一种新型独立驱动的薄膜分离机构

摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种新型独立驱动的薄膜分离机构。该分离机构包括安装平台，安装平台的一侧设有多个用于分别吸附晶片底面的第一吸附组件，每个第一吸附组件对应于一个晶片，安装平台上设有多个用于分别吸附位于晶片顶面的薄膜的第二吸附组件，第一吸附组件和第二吸附组件一一对应，且吸附方向相反，每个第二吸附组件均连接一个驱动机构，且可在驱动机构的驱动下进行上下移动，各个驱动机构独立设置且均设于安装平台上。本实用新型将多个单独的分离机构集成到一起，成功实现了薄膜与晶片的分离，提高了产能；并且对应每片薄膜的分离机构都有独立的驱动机构，从而可根据工艺需要对分离失败的薄膜进行单独重复分离。

主权项

1.一种新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，包括安装平台，所述安装平台的一侧设有多个用于分别吸附晶片底面的第一吸附组件，每个所述第一吸附组件对应于一个所述晶片，所述安装平台上设有多个用于分别吸附位于所述晶片顶面的薄膜的第二吸附组件，所述第一吸附组件和第二吸附组件一一对应，且吸附方向相反，每个所述第二吸附组件均连接一个驱动机构，且可在所述驱动机构的驱动下进行上下移动，各个所述驱动机构独立设置且均设于所述安装平台上。