[实用新型]一种线性蒸发源蒸镀设备有效
| 申请号： | 201721629547.3 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN207567335U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 邓云升;蔡晓义;周扬川;吴玉景;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 邓聪权 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀领域，公开了一种线性蒸发源蒸镀设备，包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域，所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域，两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开，所述蒸镀腔体内设有两个蒸镀机构。采用该技术方案大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 待机区域 蒸镀 蒸镀腔体 蒸镀设备 本实用新型 生产效率 真空阀门 蒸镀腔 隔开 体内 维护 | ||
【主权项】：
1.一种线性蒸发源蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域，所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域，两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开，所述蒸镀腔体内设有两个蒸镀机构。
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