[实用新型]一种真空室窗口的保护装置有效
| 申请号： | 201721629781.6 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN208055452U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 李炳坤;张晓军 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空室窗口的保护装置，包括柔性透视膜、用以装载柔性透视膜的装载滚轴、装载滚轴固定座、用以回收柔性透视膜的回收滚轴、回收滚轴固定座及转轴；其中，装载滚轴固定座和回收滚轴固定座相对的固定设置于一真空室窗口的边缘，装载滚轴和回收滚轴分别设置于装载滚轴固定座和回收滚轴固定座上，且平行设置；柔性透视膜一端固定于回收滚轴上，转轴连接回收滚轴，以控制回收滚轴旋转。通过本实用新型，能够阻止靶材金属沉积于真空室窗口的石英玻璃内表面，让每次照射到靶材表面的激光能量保持一致性，提高PLD镀膜的一致性、可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 滚轴 回收 固定座 装载 透视膜 真空室 保护装置 本实用新型 靶材表面 固定设置 激光能量 金属沉积 可重复性 平行设置 石英玻璃 转轴连接 内表面 靶材 镀膜 转轴 照射 | ||
【主权项】：
1.一种真空室窗口的保护装置，其特征在于，包括：柔性透视膜、用以装载所述柔性透视膜的装载滚轴、装载滚轴固定座、用以回收所述柔性透视膜的回收滚轴、回收滚轴固定座及转轴；其中，所述装载滚轴固定座和回收滚轴固定座相对的固定设置于一真空室窗口的边缘，所述装载滚轴和回收滚轴分别设置于所述装载滚轴固定座和回收滚轴固定座上，且平行设置；所述柔性透视膜一端固定于所述回收滚轴上，所述转轴连接所述回收滚轴，以控制所述回收滚轴旋转。
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