[实用新型]预电离放电装置和放电激励气体激光装置有效
| 申请号： | 201721641158.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207719578U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 伊藤贵志;胜海久和;藤卷洋介;田中诚 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 陶海萍;王锴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种预电离放电装置和放电激励气体激光装置，通过将用于固定保持部件的螺栓的轴向设置为与该保持部件夹持电介质管的方向一致，能够通过螺栓的轴向力来抵消电介质管受到的外力，使得电介质管始终保持固定，能够抑制由于外力等导致的电介质管的移位，从而保证了激光装置输出的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质管 激光装置 螺栓 放电装置 激励气体 预电离 放电 固定保持部件 本实用新型 保持部件 方向一致 轴向设置 轴向力 移位 夹持 抵消 输出 保证 | ||
【主权项】：
1.一种预电离放电装置，其设置在放电激励气体激光装置的激光腔室中，其特征在于，所述预电离放电装置具有：电介质管；预电离内部电极，其设置在所述电介质管的内侧；预电离外部电极，其设置在所述电介质管的外侧；第一保持部件和第二保持部件，所述第一保持部件和所述第二保持部件通过夹持的方式对所述电介质管进行保持；以及螺栓，其用于固定所述第一保持部件和所述第二保持部件，所述螺栓的轴向与所述第一保持部件和所述第二保持部件夹持所述电介质管的方向一致。
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