[实用新型]一种引弧点火装置及纳米材料制作设备有效
| 申请号： | 201721645684.6 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207581920U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 毕凯 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种引弧点火装置及纳米材料制作设备，由于在拉杆与连接杆之间设计了四连杆结构，点火完成后推动拉杆，可使得连接杆与拉杆平行，点火针的末端脱离靶台的溅射范围，因此在点火针的末端不会形成球状的原子球，提高了点火针的点火成功率，不需要定时清除原子球；另外，点火针长时间工作后产生损耗变短后，可进一步拉动拉杆，连接杆转动，可使得点火针靠近靶台，因此无需频繁更换点火针，减少了点火针的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 点火针 拉杆 连接杆 点火装置 纳米材料 制作设备 原子球 靶台 引弧 点火 四连杆结构 溅射 成功率 平行 转动 脱离 | ||
【主权项】：
1.一种引弧点火装置，其特征在于：所述引弧点火装置包括拉杆、杆套、四连杆结构、连接杆及点火针，所述拉杆位于杆套内，所述拉杆通过四连杆结构与连接杆连接，所述连接杆的第一端与点火针连接，所述四连杆结构包括延伸杆及短连杆，所述延伸杆与杆套连接，所述连接杆的第二端与延伸杆的末端转动连接，所述短连杆的第一端与拉杆转动连接，第二端与连接杆的中部转动连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴岱源真空科技有限公司，未经嘉兴岱源真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721645684.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
