[实用新型]芯片测试治具与系统

摘要

本实用新型部分实施方式提供了一种芯片测试治具与系统。芯片测试治具包括能够相对移动的载台与测试组件，载台用于放置至少一待测芯片，芯片测试治具还包括压力检测装置和行程检测装置的至少其中之一；当芯片测试治具包括压力检测装置时，压力检测装置设置于载台上对应于待测芯片位置，压力检测装置用于输出待测芯片受测试组件按压的压力值，以供控制装置在判定出压力值异常时触发保护机制；当芯片测试治具包括行程检测装置时，行程检测装置固定在测试组件或载台上，且用于输出测试组件与载台之间的行程信息，以供控制装置在判定出行程信息异常时触发保护机制。本实用新型中，可以有效避免芯片被压坏；同时，可以避免对测试治具造成损伤。

主权项

1.一种芯片测试治具，包括能够相对移动的载台与测试组件，所述载台用于放置至少一待测芯片，所述测试组件用于按压所述待测芯片以进行测试；其特征在于，所述芯片测试治具还包括压力检测装置和行程检测装置的至少其中之一；当所述芯片测试治具包括所述压力检测装置时，所述压力检测装置设置于所述载台上对应于所述待测芯片位置，所述压力检测装置用于输出所述待测芯片受所述测试组件按压的压力值，以供控制装置在判定出所述压力值异常时触发保护机制；当所述芯片测试治具包括所述行程检测装置时，所述行程检测装置固定在所述测试组件或所述载台上，且用于输出所述测试组件与所述载台之间的行程信息，以供控制装置在判定出所述行程信息异常时触发保护机制。