[实用新型]一种振动辅助研抛装置

摘要

本实用新型涉及一种振动辅助研抛装置，属于超精密研抛技术领域，所述的压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头装在研抛头夹座内，本装置的优点是装置结构简单，拆卸方便，易于实现，优化后柔性铰链研抛平台做有规则的研抛运动，提高了加工精度，造价低，该装置大大提高了以难加工材料作为被加工工件的表面精度。

主权项

1.一种振动辅助研抛装置，其特征在于，包括压电叠堆一、压电叠堆二、压电预紧螺钉、柔性铰链研抛平台、电容式位移测量挡板一、电容式位移测量挡板二、挡板螺钉、电容式位移测量传感器一、电容式位移测量传感器二、传感器夹座一、传感器夹座二、夹座螺钉、研抛头夹座、研抛螺钉、研抛头，其中压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头卡在研抛头夹座内。