[实用新型]一种用于制备氧化物陶瓷靶材的复合式微波烧结装置有效
申请号: | 201721697554.7 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN208282597U | 公开(公告)日: | 2018-12-25 |
发明(设计)人: | 舒永春;刘洋;孙本双;曾学云 | 申请(专利权)人: | 郑州大学 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/18;F27B5/14;F27D19/00;F27B5/08 |
代理公司: | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人: | 唐维铁 |
地址: | 450001 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于制备氧化物陶瓷靶材的复合式微波烧结装置,烧结装置包括电加热控制系统(1)、微波加热控制系统(2)和烧结炉(3),其中电加热控制系统(1)用于控制电加热过程;微波加热控制系统(2)用于控制微波加热过程;烧结炉(3)用于放置、烧结氧化物陶瓷靶材;电加热控制系统(1)和微波加热控制系统(2)可以设置为同时工作,也可以设置为分时段工作。通过两者加热方式的相互辅助作用,达到降低能耗,快速有效烧结的效果,能够控制升温速度,能够实现对温度的精确控制,使得微波加热技术在烧结领域能够大规模推广应用,可以得到大尺寸、结构完整、性能良好的陶瓷材料。 | ||
搜索关键词: | 电加热控制系统 控制系统 烧结装置 陶瓷靶材 微波加热 制备氧化物 烧结 烧结炉 微波加热过程 微波加热技术 复合 本实用新型 烧结氧化物 辅助作用 加热方式 陶瓷材料 电加热 分时段 | ||
【主权项】:
1.一种用于制备氧化物陶瓷靶材的复合式微波烧结装置,其特征在于,该烧结装置包括电加热控制系统(1)、微波加热控制系统(2)和烧结炉(3),其中:所述电加热控制系统(1)用于控制电加热过程;所述微波加热控制系统(2)用于控制微波加热过程;所述烧结炉(3)用于放置、烧结氧化物陶瓷靶材;所述电加热控制系统(1)和所述微波加热控制系统(2)可以设置为同时工作,也可以设置为分时段工作。
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