[实用新型]一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置有效
申请号: | 201721701998.3 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN207475962U | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 邹伟权 | 申请(专利权)人: | 江门华大生物科技有限公司 |
主分类号: | H05H7/14 | 分类号: | H05H7/14 |
代理公司: | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人: | 徐晶 |
地址: | 529000 广东省江门市江海区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置,包括:分子泵、离子泵、真空室,本实用新型通过提前对真空室内抽真空,当电子加速器内的真空度不足时,打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室,刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之间存在真空度差,电子加速器内的气体会进入真空室进而提升电子加速器的真空度。 | ||
搜索关键词: | 电子加速器 真空室 电子辐照加速器 真空抽气装置 本实用新型 真空阀 抽真空 分子泵 离子泵 腔室 室内 | ||
【主权项】:
一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置,包括:分子泵、离子泵、真空室,其特征在于:所述真空室两侧通过管道分别连接第二真空阀和第三真空阀,其中第三真空阀与三通连接;所述第二真空阀前端设有四通;所述四通其中两个接口分别通过管道连接分子泵和离子泵;所述四通的剩余一个接口通过管道与第一真空阀连接,其中第一真空阀通过管道与三通连接;所述三通的另一个接口通过管道与电子加速器连接。
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