[实用新型]一种LPCVD真空加热腔室

摘要

本实用新型公开了一种LPCVD真空加热腔室，所述加热腔室内自上而下顺次设有加热装置、均热板和玻璃基板，所述加热腔室的腔壁上设有热量屏蔽装置，本实用新型通过在加热腔室的内部设置均热板，可以保证玻玻璃基板上的玻璃受热均匀，避免热量集中，同时在加热腔室的腔壁上设置热量屏蔽装置，可以将散逸到腔室壁上的热量反射回腔室内部，降低加热腔室内的热量损失，与现有技术相比，本实用新型的LPCVD真空加热腔室可以有效降低热量损失，保证加热腔室内处于合适的温度，降低加热腔室的加热成本。

主权项

1.一种LPCVD真空加热腔室，其特征在于，所述加热腔室(1)内自上而下顺次设有加热装置(2)、均热板(3)和玻璃基板(4)，所述加热腔室(1)的腔壁上设有热量屏蔽装置(5)。