[实用新型]一种用于LCD生产的曝光及显影设备有效

专利信息
申请号: 201721713046.3 申请日: 2017-12-11
公开(公告)号: CN207473298U 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 杨贵川;李星;禹建光 申请(专利权)人: 四川华晶电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F7/30;G02F1/13
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 638000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种用于LCD生产的曝光及显影设备,包括工作台、曝光装置、显影液箱,曝光装置具有壳体,壳体设于工作台上,壳体内壁顶部中心设有紫外灯,壳体入口端顶部设有传感器,壳体内部穿设通过第一驱动定电机驱动的第一传送带,第一传送带前端设有通过第二驱动定电机驱动的第二传送带,第二传送带上方设有多个与显影液箱连接的喷头,第一传送带与第二传送带上放置有玻璃板架。本实用新型通过传送带将玻璃板由曝光工序转移至显影工序,节约人力,同时,玻璃板架内设置的玻璃板槽能有效固定玻璃板,使得紫外光照射在玻璃板的固定位置,多个喷头同时向玻璃板上喷涂显影液,使受到紫外光照射的光刻胶与相同量的显影液反应,保证产品质量均一性。
搜索关键词: 传送带 显影液 玻璃板 喷头 紫外光照射 玻璃板架 电机驱动 曝光装置 显影设备 壳体 本实用新型 固定玻璃板 壳体入口端 质量均一性 玻璃板槽 顶部中心 壳体内壁 壳体内部 曝光工序 显影工序 曝光 驱动 光刻胶 紫外灯 传感器 工作台 穿设 喷涂 节约 生产 保证
【主权项】:
一种用于LCD生产的曝光及显影设备,其特征在于,包括工作台(1)、曝光装置(2)、显影液箱(5),曝光装置(2)具有壳体(201),壳体(201)设于工作台(1)上,壳体(201)内壁顶部中心设有紫外灯(202),壳体(201)入口端顶部设有传感器(203),壳体(201)内部穿设通过第一驱动定电机(301)驱动的第一传送带(3),第一传送带(3)前端设有通过第二驱动定电机(401)驱动的第二传送带(4),第二传送带(4)上方设有多个与显影液箱(5)连接的喷头(501),第一传送带(3)与第二传送带(4)上放置有玻璃板架(7),玻璃板架(7)内有多个玻璃板槽(701),玻璃板架(7)上套接有带镂孔(702)的光刻掩模板(703)。
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