[实用新型]一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置有效
申请号: | 201721713181.8 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN207558737U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 宋云涛;陈俞钱;毕延芳;徐世文;金小飞;陈平;冯汉升;陈永华;陈根;杨庆喜;丁开忠 | 申请(专利权)人: | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
主分类号: | H01J27/04 | 分类号: | H01J27/04 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置,包括阴极底座、阴极、阳极、对阴极、第一绝缘陶瓷和第二绝缘陶瓷;阴极底座为圆柱凸台结构,所述阴极底座上设有阴极液冷管道;阴极一端面开有与阴极底座上的凸台相配合的安装孔;阳极包括空心圆台、第一空心圆柱和第二空心圆柱;第一空心圆柱内侧通过第一绝缘陶瓷与阴极底座的侧面连接,第一绝缘陶瓷上设有进气口;第二空心圆柱通过第二绝缘陶瓷与对阴极连接;阳极内设有阳极液冷管道。本实用新型通过液冷管道,可控制离子源装置的温度;通过在阳极与阴极间设有绝缘陶瓷材料,可有效避免阴极与阳极间发生短路;通过阳极的结构设计,提高了阳极与阴极间的电场强度。 | ||
搜索关键词: | 阴极 阳极 绝缘陶瓷 阴极底座 空心圆柱 冷阴极潘宁离子源 本实用新型 六硼化镧 冷管道 进气口 绝缘陶瓷材料 圆柱凸台结构 离子源装置 侧面连接 空心圆台 液冷管道 短路 安装孔 可控制 阳极液 阴极液 凸台 配合 | ||
【主权项】:
1.一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置,其特征在于:包括阴极底座(1)、阴极(2)、阳极(3)、对阴极(5)、第一绝缘陶瓷(6)和第二绝缘陶瓷(7);所述阴极底座(1)为圆柱凸台结构,所述阴极底座(1)上设有阴极液冷管道(9);所述阴极(2)为圆柱型结构,阴极(2)一端面开有安装孔,所述安装孔与阴极底座(1)上的凸台相配合;所述阳极(3)包括空心圆台(31)、第一空心圆柱(32)和第二空心圆柱(33),空心圆台(31)两端分别与第一空心圆柱(32)和第二空心圆柱(33)连接;所述第一空心圆柱(32)内侧通过第一绝缘陶瓷(6)与阴极底座(1)的侧面连接,第一绝缘陶瓷(6)上设有进气口(8);第二空心圆柱(33)内侧通过第二绝缘陶瓷(7)与对阴极(5)连接;所述阳极(3)内设有阳极液冷管道(10);所述阴极底座(1)、阳极(3)、对阴极(5)、第一绝缘陶瓷(6)以及第二绝缘陶瓷(7)的连接构成放电室(4),且阴极(2)位于放电室(4)内。
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