[实用新型]一种硅片切割用降温装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片切割用降温装置，包括底板，底板的四角安装有竖直立杆，竖直立杆远离底板的一端安装有顶板，底板上开设有圆形凹槽，圆形凹槽中通过支柱安装有切割平台，顶板的下方切割平台的上方安装有切割装置，圆形凹槽的底部开设有圆形孔槽，圆形凹槽通过圆形孔槽连接有第一水管，第一水管远离圆形凹槽的一端安装有第一水箱，第一水箱的内部安装有滤板，且第一水箱的一侧滤板的下方连通有第二水管，第二水管远离第一水箱的一端安装有水泵，水泵的一侧连接有循环管。本实用新型通过第二水箱、第三水管、喷水盘、喷头在硅片切割过程中，对硅片切割进行快速的喷水降温，并通过鼓风装置辅助降温，快速降低硅片切割时的温度。

主权项

1.一种硅片切割用降温装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的四角安装有竖直立杆(2)，所述竖直立杆(2)远离底板(1)的一端安装有顶板(3)，所述底板(1)上开设有圆形凹槽，所述圆形凹槽中通过支柱安装有切割平台(4)，所述顶板(3)的下方切割平台(4)的上方安装有切割装置(5)，所述圆形凹槽的底部开设有圆形孔槽，所述圆形凹槽通过圆形孔槽连接有第一水管(6)，所述第一水管(6)远离圆形凹槽的一端安装有第一水箱(7)，所述第一水箱(7)的内部安装有滤板(8)，且所述第一水箱(7)的一侧滤板(8)的下方连通有第二水管(9)，所述第二水管(9)远离第一水箱(7)的一端安装有水泵(10)，所述水泵(10)的一侧连接有循环管，且循环管远离水泵(10)的一端连接有第二水箱(11)，所述第二水箱(11)安装在顶板(3)的上方，所述第二水箱(11)的一侧下方连通有第三水管(12)，所述第三水管(12)远离第二水箱(11)的一端安装有喷水盘(13)，且所述喷水盘(13)上等距离均匀开设有出水口，出水口上均安装有喷头(14)，所述顶板(3)的上方远离第二水箱(11)的一侧安装有鼓风装置(15)。