[实用新型]一种湿法磷酸槽清洗装置有效
| 申请号： | 201721721522.6 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207929696U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 崔亚东;张文福;高英哲 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B9/093 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种湿法磷酸槽清洗装置，包括湿法磷酸槽、管路、清洗进液设备及清洗排液设备；通过清洗进液设备向管路中通入氟化氢清洗溶液，实现对湿法磷酸槽的槽体、管路及连接于管路上的过滤芯的清洗，不需要拆卸管路就可以达到清洗净化管路、磷酸槽的槽体及过滤芯的目的，提高了湿法磷酸槽的洁净度，同时，提高了后续制备的芯片成品率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法磷酸 清洗 进液设备 清洗装置 过滤芯 槽体 本实用新型 芯片成品率 排液设备 清洗溶液 氟化氢 洁净度 磷酸槽 拆卸 制备 净化 | ||
【主权项】：
1.一种湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于，包括：湿法磷酸槽、管路、清洗进液设备及清洗排液设备，其中：所述湿法磷酸槽包含槽体及连接于所述槽体的槽进口及槽出口；所述管路包含第一端及第二端，所述第一端连接于所述槽出口，所述第二端连接于所述槽进口，所述管路自所述第一端至所述第二端依次连接有泵、加热器及过滤芯；所述清洗进液设备包括第一单向阀，所述第一单向阀连接于所述管路，用以向所述管路提供清洗液；所述清洗排液设备包括第二单向阀，所述第二单向阀连接于所述管路，用以排出所述管路内的所述清洗液。
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