[实用新型]一种用以装载晶圆的晶舟及扩散炉

摘要

本实用新型提供了一种用以装载晶圆的晶舟及扩散炉，适用于炉管工艺中，其中，包括：晶舟盒；承托结构，设置于晶舟盒的内侧壁上，用以承托晶圆；吸附孔，设置于承托结构上，用以吸附放置于承托结构上的晶圆。其技术方案的有益效果在于，将晶圆放置于晶舟中的承托结构上时，通过承托结构上设置的吸附孔可将晶圆吸附固定于承托结构上，可有效避免因为炉管内的温度的急剧变化造成晶圆在承托结构上出现抖动，解决了晶圆与承托结构之间的摩擦形成颗粒物掉落于晶圆上造成晶圆污染的问题。 1

主权项

1.一种用以装载晶圆的晶舟，适用于炉管工艺中，其特征在于，包括：

晶舟盒；

承托结构，设置于所述晶舟盒的内侧壁上，用以承托晶圆；

吸附孔，设置于所述承托结构上，用以吸附放置于所述承托结构上的所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟盒的内侧壁上设置有多个所述承托结构。

3.根据权利要求2所述的晶舟，其特征在于，相邻的所述承托结构之间的间隔相同。

4.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述承托结构包括；

一对承托板，所述一对承托板相对设置于所述晶舟盒的内侧壁上，用以承托放置的所述晶圆；

所述吸附孔开设于每个承托板的顶部，通过所述吸附孔吸附放置于所述承托板上且覆盖所述吸附孔的所述晶圆。

5.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于，相对设置的所述一对承托板之间设置有一预定间隔。

6.根据权利要求5所述的晶舟，其特征在于，所述预定间隔小于所述晶圆的宽度。

7.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟的材质由石英材质制成。

8.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，还包括一通气管道，所述通气管道设置于所述晶舟盒的盒体内部，并与所述承托的所述吸附孔连通；

所述通气管道的相对于所述吸附孔的一端连接有一抽气设备。

9.根据权利要求8所述的晶舟，其特征在于，所述抽气设备为气泵。

10.一种扩散炉，其特征在于，所述扩散炉中设置有如权利要求1‑9中任一所述的晶舟。