[实用新型]晶舟以及炉管

摘要

本实用新型提供了一种晶舟以及炉管，所述晶舟包括立柱和设置在所述立柱上的支撑架，所述支撑架用于支撑晶圆，所述支撑架包括倾斜向下的支撑斜面以及设置在所述支撑斜面上的凸起，所述凸起低于所述支撑斜面支撑晶圆的位置。本实用新型提供的晶舟以及炉管，通过支撑架倾斜向下的支撑斜面来支撑晶圆，使晶圆与支撑架的接触面积较小，从而使摩擦发生的面积减小，减少颗粒物的产生，并在低于支撑斜面支撑晶圆的位置设置有凸起，从而防止摩擦产生的颗粒物掉落到下面的晶圆上，有效的减少晶舟造成的缺陷，提高了生产的良率。 1

主权项

1.一种晶舟，其特征在于，所述晶舟包括立柱和设置在所述立柱上的支撑架，所述支撑架用于支撑晶圆，所述支撑架包括倾斜向下的支撑斜面以及设置在所述支撑斜面上的凸起，所述凸起低于所述支撑斜面支撑晶圆的位置。

2.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述支撑架上设置有定位槽，所述定位槽用于确定晶圆位置。

3.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述凸起具有弧形的表面。

4.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述支撑架倾斜的夹角小于30°。

5.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述凸起的长度为1mm～10mm。

6.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述立柱的数量为3个。

7.如权利要求1‑6中任意一项所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟还包括上盖，所述上盖设置在所述立柱上。

8.如权利要求7所述的晶舟，其特征在于，所述上盖通过可拆卸的方式与所述立柱连接。

9.如权利要求7所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟还包括把手，所述把手设置在所述上盖上和/或所述立柱上。

10.一种炉管，其特征在于，所述炉管包括如权利要求1‑9中任意一项所述的晶舟和炉腔，所述晶舟设置在所述炉腔内。