[实用新型]石墨盖板及应用该石墨盖板的多晶铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种石墨盖板及应用该石墨盖板的多晶铸锭炉，多晶铸锭炉包括炉体、设于炉体内的隔热笼、设于隔热笼内的石英坩埚、石墨盖板、以及穿设于炉体、隔热笼的石墨导气管，石墨盖板设于石英坩埚的顶端，且与石墨导气管的出气口相抵触，石墨盖板包括与石墨导气管的出气口相抵触的第一区域、以及设于第一区域外周的第二区域，第二区域的厚度大于第一区域的厚度，第一区域内设有第一螺旋孔、以及设于第一螺旋孔外围且旋向相同的多个第二螺旋孔，各个第二螺旋孔绕第一螺旋孔的中心轴线环形阵列排布。本实用新型中多晶铸锭炉通过采用本实用新型提供的石墨盖板解决现有多晶铸锭炉制作的硅锭中碳杂质含量较高的问题。

主权项

1.一种石墨盖板，应用于多晶铸锭炉中，所述多晶铸锭炉包括炉体、设于所述炉体内部的隔热笼、设于所述隔热笼内的石英坩埚、以及穿设于所述炉体、所述隔热笼的石墨导气管，所述石墨盖板设于所述石英坩埚的顶端，其特征在于，所述石墨导气管的出气口与所述石墨盖板相抵触，所述石墨盖板包括与所述石墨导气管的出气口相抵触的第一区域、以及设于所述第一区域外周的第二区域，所述第二区域的厚度大于所述第一区域的厚度，所述第一区域内设有一第一螺旋孔、以及设于所述第一螺旋孔外围且旋向相同的多个第二螺旋孔，各个所述第二螺旋孔绕所述第一螺旋孔的中心轴线环形阵列排布。