[实用新型]一种液态金属RF MEMS开关有效

专利信息
申请号: 201721727758.0 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN207602455U 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 刘婷婷;杨涛;韩宾;高杨 申请(专利权)人: 西南科技大学
主分类号: H01H29/06 分类号: H01H29/06;H01H29/02
代理公司: 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 代理人: 李蕊
地址: 621010 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种液态金属RF MEMS开关,包括具有间隙的底部支撑件和顶部盖板;顶部盖板由上至下依次层叠设置有盖板、上电极、上介电层以及上疏水层;底部支撑件由上至下依次层叠设置有下疏水层、下介电层以及基底;上疏水层和下疏水层之间活动设置有同时与两者接触的液态金属,并在下疏水层上设置有将液态金属囊括的限位块;下介电层和基底之间设置有具有间隙的传输线和驱动电极。本装置采用“液‑固”接触替代传统的“固‑固”接触,无触点磨损问题,工作效率高,使用寿命长。
搜索关键词: 液态金属 疏水层 底部支撑件 顶部盖板 下介电层 依次层叠 基底 传输线 本实用新型 工作效率高 活动设置 驱动电极 上介电层 使用寿命 电极 盖板 传统的 限位块 磨损 替代
【主权项】:
1.一种液态金属RF MEMS开关,其特征在于,包括具有间隙的底部支撑件和顶部盖板;所述顶部盖板由上至下依次层叠设置有盖板(7)、上电极(11)上介电层(6)以及上疏水层(5);所述底部支撑件由上至下依次层叠设置有下疏水层(3)、下介电层(2)以及基底(1);所述上疏水层(5)和下疏水层(3)之间活动设置有同时与两者接触的液态金属(8),并在下疏水层(3)上设置有将液态金属(8)囊括的限位块(4);所述下介电层(2)和基底(1)之间设置有具有间隙的传输线(9)和驱动电极(10)。
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