[实用新型]一种高精度的硅片切割仪有效
申请号: | 201721741051.5 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN207825239U | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 孙毓;谢桂兰;吴淑财;宋建林 | 申请(专利权)人: | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B24D99/00;B24B27/06;B24B57/02 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 张文杰 |
地址: | 261000 山东省潍坊市高*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高精度的硅片切割仪,包括第一箱体和第二箱体,所述第一箱体和所述第二箱体的一侧均通过螺母安装有第一圆台,所述第一圆台的一侧设有第二圆台,且所述第一圆台和所述第二圆台之间设有转轴,所述转轴的两端分别嵌入设置于所述第一圆台和所述第二圆台内,且与所述第一圆台和所述第二圆台均活动连接,所述第二圆台的一侧与固定盘紧密焊接,所述转轴的外侧套有套筒,两个所述套筒通过若干切割丝连接,所述第一箱体的内部设有电机,所述电机的轴心与所述转轴紧密连接,所述第一箱体的一侧通过轴体连接有控制板,所述控制板的顶部嵌入设置有触摸屏,且所述触摸屏与所述电机电性连接,该种高精度的硅片切割仪结构简单,精度高。 | ||
搜索关键词: | 圆台 转轴 硅片切割 嵌入设置 触摸屏 控制板 套筒 电机 本实用新型 电机电性 活动连接 紧密连接 螺母安装 固定盘 切割丝 轴体 焊接 | ||
【主权项】:
1.一种高精度的硅片切割仪,包括第一箱体(1)和第二箱体(2),其特征在于:所述第一箱体(1)和所述第二箱体(2)的一侧均通过螺母安装有第一圆台(8),所述第一圆台(8)的一侧设有第二圆台(11),且所述第一圆台(8)和所述第二圆台(11)之间设有转轴(10),所述转轴(10)的两端分别嵌入设置于所述第一圆台(8)和所述第二圆台(11)内,且与所述第一圆台(8)和所述第二圆台(11)均活动连接,所述第二圆台(11)的一侧与固定盘(15)紧密焊接,所述转轴(10)的外侧套有套筒(9),两个所述套筒(9)通过若干切割丝(18)连接,所述第一箱体(1)的内部设有电机(4),所述电机(4)的轴心与所述转轴(10)紧密连接,所述第一箱体(1)的一侧通过轴体(6)连接有控制板(5),所述控制板(5)的顶部嵌入设置有触摸屏(7),且所述触摸屏(7)与所述电机(4)电性连接,所述第一箱体(1)的一侧设有电源模块(3),且所述触摸屏(7)和所述电机(4)均与所述电源模块(3)电性连接。
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