[实用新型]线性蒸发源及连续式蒸镀设备有效
| 申请号： | 201721742630.1 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207727135U | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 杨世航;刘壮;张撷秋;崔骏;李霖 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线性蒸发源，包括：坩埚，用于对材料进行第一次蒸发；第一加热器，用于加热坩埚；喷射管，喷射管与坩埚连通，用于对材料进行第二次蒸发，喷射管包括管本体以及若干个喷嘴，若干个喷嘴沿管本体的长度方向排列于管本体上；第二加热器，用于对喷射管进行加热。本实用新型还公开一种连续式蒸镀设备，包括若干个相互连通的真空镀膜腔、传送机构和线性蒸发源，传送机构用于传输待蒸镀样品，线性蒸发源设置于真空镀膜腔内，喷嘴朝向待蒸镀样品。在线性蒸发源中通过两个加热器控制蒸发量和蒸发速率，设置若干个喷嘴实现大面积喷涂。在连续式蒸镀设备中设置传送机构使得多个待蒸镀样品在各个真空蒸镀腔内连续移动，实现连续蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 喷嘴 喷射管 蒸镀 传送机构 蒸镀设备 管本体 连续式 蒸发 本实用新型 真空镀膜腔 坩埚 连通 长度方向排列 加热器 大面积喷涂 第一加热器 加热器控制 真空蒸镀腔 加热坩埚 连续移动 蒸发量 加热 传输 | ||
【主权项】：
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：坩埚(10)，用于容纳材料并对所述材料进行第一次蒸发；第一加热器(20)，用于加热所述坩埚(10)；喷射管(30)，所述喷射管(30)与所述坩埚(10)连通，用于对所述材料进行第二次蒸发，且所述喷射管(30)包括管本体(32)以及若干个喷嘴(31)，所述若干个喷嘴(31)沿所述管本体(32)的长度方向排列于所述管本体(32)上，所述喷嘴(31)用于将经过第二次蒸发的所述材料喷出；第二加热器(40)，用于对所述喷射管(30)进行加热。
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