[实用新型]一种具有导热件的热蒸发坩埚组件有效
| 申请号： | 201721742785.5 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207727136U | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 刘壮;张撷秋;杨世航 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，包括坩埚本体及导热件，坩埚本体设有腔体，导热件嵌于腔体内且与腔体表面接触以进行热量传递，导热件上设有多个在高度方向连通的气体蒸发通道，气体蒸发通道用于导出坩埚本体内产生的蒸发原料气体。本实用新型一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，通过热蒸发三维导热件将蒸发原料内部、临近液面处、接近坩埚内壁处连接起来，形成多个小的子蒸发区域。由于三维导热件结构的联通性，使得临近加热源的坩埚壁、底部的热量可以快速传导到坩埚内部和临近液面处，促进在非平衡态下的温度场均匀性，在热蒸发镀膜工艺中起到匀热，导热作用，降低了因温度不均匀导致喷溅的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 导热件 热蒸发 坩埚组件 本实用新型 蒸发通道 蒸发原料 坩埚本体 液面处 坩埚 三维 体内 温度场均匀性 导热 热蒸发镀膜 非平衡态 腔体表面 热量传递 蒸发区域 坩埚内壁 不均匀 加热源 联通性 坩埚壁 导出 腔体 传导 连通 | ||
【主权项】：
1.一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：包括坩埚本体(1)及导热件(2)，所述坩埚本体(1)设有腔体(11)，所述导热件(2)嵌于所述腔体(11)内且与所述腔体(11)表面接触以进行热量传递，所述导热件(2)上设有多个在高度方向连通的气体蒸发通道，所述气体蒸发通道用于导出所述坩埚本体(1)内产生的蒸发原料气体。
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