[实用新型]一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件有效
| 申请号： | 201721743779.1 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207845760U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘壮;杨世航;张撷秋 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，包括坩埚及设于坩埚内用于导热的网栅导热件，网栅导热件包括具有多孔结构的导热网栅和设于导热网栅外围一周的侧导热件，侧导热件的外壁紧贴坩埚的内壁以进行热量传递，导热网栅上的多孔用于导出坩埚内产生的蒸发原料气体。本实用新型一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其中网栅导热件在热蒸发镀膜工艺中起到匀热，导热作用。通过热蒸发三维导热网栅结构将蒸发原料内部、临近液面处、接近坩埚内壁处连接起来，形成多个小的子蒸发区域。由于三维导热网栅结构的联通性，使得临近加热源的坩埚壁、底部的热量可以快速传导到坩埚内部和临近液面处，促进在非平衡态下的温度场均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 导热件 网栅 导热网 坩埚 热蒸发 坩埚组件 导热 本实用新型 蒸发原料 液面处 栅结构 三维 温度场均匀性 热蒸发镀膜 多孔结构 非平衡态 热量传递 蒸发区域 坩埚内壁 加热源 联通性 坩埚壁 导出 内壁 外壁 传导 紧贴 外围 | ||
【主权项】：
1.一种具有网栅导热件的热蒸发坩埚组件，其特征在于：包括坩埚(1)及设于坩埚(1)内用于导热的网栅导热件(2)，所述网栅导热件(2)包括具有多孔结构的导热网栅(21)和设于所述导热网栅(21)外围一周的侧导热件(22)，所述侧导热件(22)的外壁紧贴所述坩埚(1)的内壁以进行热量传递，所述导热网栅(21)上的多孔用于导出所述坩埚(1)内产生的蒸发原料气体。
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