[实用新型]一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构有效
| 申请号： | 201721744515.8 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207646335U | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 张新峰;周磊峰;徐建;龙安泽;蒋信 | 申请（专利权）人： | 江苏卓远晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京快易权知识产权代理有限公司 11660 | 代理人： | 杜亚静 |
| 地址： | 226543 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构，包括真空管，所述真空管的顶部中心处设置有防爆阀，所述真空管的顶部右侧和底部左侧均设置有六角水管接头，所述真空管的底部左右两侧对称设置有第一真空计，所述真空管的左侧连通有气动高真空挡板阀，所述气动高真空挡板阀的底部设置有冷阱，所述冷阱的底部设置有扩散阀，所述旁管接头的顶部连接有第一气动真空挡板阀，所述四通管的顶部连通有第二气动真空挡板阀。本实用新型结构设计合理，一方面通过设置的冷阱可以防止扩散泵返油和降温，降低由于扩散泵的返油和降温对气动高真空挡板阀的工作造成影响，另一方面运转过程中设置两个真空挡板阀进行微调，便于对抽气工作进行调节作用。 | ||
| 搜索关键词： | 真空管 高真空挡板阀 冷阱 气动真空挡板阀 真空系统结构 本实用新型 蓝宝石 扩散泵 返油 连通 真空挡板阀 顶部中心 对称设置 水管接头 运转过程 左右两侧 防爆阀 四通管 真空计 抽气 六角 旁管 微调 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构，包括真空管，其特征在于：所述真空管的顶部中心处设置有防爆阀，所述真空管的顶部右侧和底部左侧均设置有六角水管接头，所述真空管的右侧设置有密封圈，所述真空管的底部中心处设置有高真空微调阀，所述真空管的底部左右两侧对称设置有第一真空计，且左侧第一真空计位于底部六角水管接头的右侧；所述真空管的左侧连通有气动高真空挡板阀，所述气动高真空挡板阀的底部设置有冷阱，所述冷阱的底部设置有扩散阀，所述扩散阀的左侧连通有旁管接头，所述旁管接头的顶部连接有第一气动真空挡板阀，所述第一气动真空挡板阀的左侧连通有三通管，所述三通管的顶部设置有第二真空计，所述三通管的左侧连接有四通管，所述四通管的顶部连通有第二气动真空挡板阀。
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