[实用新型]一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统，包括废气缓冲罐、变压吸附系统、热源、冷凝器和废气淋洗塔；其中变压吸附系统包括气体压缩机、活性炭吸附器以及第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器；所述活性炭吸附器包括三个并列设置的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C。本实用新型通过三个活性炭吸附器的交替循环，能实现对多晶硅生产尾气的24小时不间断回收处理，大大提高尾气处理效率及整个工厂的多晶硅生产的速率。

主权项

1.一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统，其特征在于：包括废气缓冲罐（1），变压吸附系统（2），为所述变压吸附系统（2）提供热量的热源（3）、与所述变压吸附系统（2）相连通的冷凝器（4）和与所述变压吸附系统（2）相连通的废气淋洗塔（5）；所述废气缓冲罐（1）上设有尾气进管（11）和低压尾气出管（12），所述低压尾气出管（12）与所述变压吸附系统（2）相连通；所述变压吸附系统（2）包括与所述低压尾气出管（12）相连通的气体压缩机（25），通过高压尾气出管（251）与所述气体压缩机（25）相连通的活性炭吸附器以及分别与所述活性炭吸附器相连通的第一过滤器（22）、第二过滤器（23）和第三过滤器（24）；所述活性炭吸附器包括三个并列设置的活性炭吸附器A（211）、活性炭吸附器B（212）和活性炭吸附器C（213），所述活性炭吸附器A（211）顶部设有吸附器A上通气管（2111），所述活性炭吸附器A（211）底部设有吸附器A下通气管（2112），所述活性炭吸附器A（211）的侧壁上设有吸附器A导热油进管（2113）和吸附器A导热油出管（2114），所述活性炭吸附器B（212）顶部设有吸附器B上通气管（2121），所述活性炭吸附器B（212）底部设有吸附器B下通气管（2122），所述活性炭吸附器B（212）的侧壁上设有吸附器B导热油进管（2123）和吸附器B导热油出管（2124），所述活性炭吸附器C（213）顶部设有吸附器C上通气管（2131），所述活性炭吸附器C（213）底部设有吸附器C下通气管（2132），所述活性炭吸附器C（213）的侧壁上设有吸附器C导热油进管（2133）和吸附器C导热油出管（2134）；所述高压尾气出管（251）分别与所述吸附器A下通气管（2112）、吸附器B下通气管（2122）和吸附器C下通气管（2132）相连通，所述高压尾气出管（251）上设有控制所述高压尾气出管（251）与所述吸附器A下通气管（2112）通断的吸附器A尾气进阀（2511）、控制所述高压尾气出管（251）与所述吸附器B下通气管（2122）通断的吸附器B尾气进阀（2512）和控制所述高压尾气出管（251）与所述吸附器C下通气管（2132）通断的吸附器C尾气进阀（2513）；所述第一过滤器（22）的进口处设有第一过滤器进管（221），所述第一过滤器进管（221）分别与所述吸附器A上通气管（2111）、吸附器B上通气管（2121）和吸附器C上通气管（2131）相连通，所述第一过滤器进管（221）上设有控制所述第一过滤器进管（221）与所述吸附器A上通气管（2111）通断的吸附器A尾气出阀（2211）、控制所述第一过滤器进管（221）与所述吸附器B上通气管（2121）通断的吸附器B尾气出阀（2212）和控制所述第一过滤器进管（221）与所述吸附器C上通气管（2131）通断的吸附器C尾气出阀（2213）；所述第一过滤器（22）的出口通过管路分别连接所述废气淋洗塔（5）和反吹气缓冲罐（26），所述反吹气缓冲罐（26）的出口处设置有反吹气出管（261）；所述反吹气出管（261）分别与所述吸附器A上通气管（2111）、吸附器B上通气管（2121）和吸附器C上通气管（2131）相连通，所述反吹气出管（261）上设有控制所述反吹气出管（261）与所述吸附器A上通气管（2111）通断的吸附器A反吹气进阀（2611）、控制所述反吹气出管（261）与所述吸附器B上通气管（2121）通断的吸附器B反吹气进阀（2612）和控制所述反吹气出管（261）与所述吸附器C上通气管（2131）通断的吸附器C反吹气进阀（2613）；所述第二过滤器（23）的进口处设有第二过滤器进管（231），所述第二过滤器进管（231）分别与所述吸附器A下通气管（2112）、吸附器B下通气管（2122）和吸附器C下通气管（2132）相连通，所述第二过滤器进管（231）上设有控制所述第二过滤器进管（231）与所述吸附器A下通气管（2112）通断的吸附器A反吹气出阀（2311）、控制所述第二过滤器进管（231）与所述吸附器B下通气管（2122）通断的吸附器B反吹气出阀（2312）和控制所述第二过滤器进管（231）与所述吸附器C下通气管（2132）通断的吸附器C反吹气出阀（2313）；所述第二过滤器（23）的出口处通过第二过滤器出管（232）与所述冷凝器（4）相连通；所述第三过滤器（24）的进口处设有第三过滤器进管（241），所述第三过滤器进管（241）分别与所述吸附器A上通气管（2111）、吸附器B上通气管（2121）和吸附器C上通气管（2131）相连通；所述第三过滤器进管（241）上设有控制所述第三过滤器进管（241）与所述吸附器A上通气管（2111）通断的吸附器A反吹尾气出阀（2411）、控制所述第三过滤器进管（241）与所述吸附器B上通气管（2121）通断的吸附器B反吹尾气出阀（2412）和控制所述第三过滤器进管（241）与所述吸附器C上通气管（2131）通断的吸附器C反吹尾气出阀（2413）；所述第三过滤器（24）的出口处通过第三过滤器出管（242）与所述废气淋洗塔（5）相连通；所述热源（3）上设有导热油出管（31）和导热油回管（32），所述导热油出管（31）分别与所述吸附器A导热油进管（2113）、吸附器B导热油进管（2123）和吸附器C导热油进管（2133）相连通，所述导热油出管（31）上设有控制所述导热油出管（31）与所述吸附器A导热油进管（2113）通断的吸附器A导热油进阀（311）、控制所述导热油出管（31）与所述吸附器B导热油进管（2123）通断的吸附器B导热油进阀（312）和控制所述导热油出管（31）与所述吸附器C导热油进管（2133）通断的吸附器C导热油进阀（313）；所述导热油回管（32）分别与所述吸附器A导热油出管（2114）、吸附器B导热油出管（2124）和吸附器C导热油出管（2134）相连通，所述导热油回管（32）上设有控制所述导热油回管（32）与所述吸附器A导热油出管（2114）通断的吸附器A导热油出阀（321）、控制所述导热油回管（32）与所述吸附器B导热油出管（2124）通断的吸附器B导热油出阀（322）和控制所述导热油回管（32）与所述吸附器C导热油出管（2134）通断的吸附器C导热油出阀（323）；所述冷凝器（4）上设有冷凝器气体进管（41）、冷凝器气体出管（42）和冷凝器液体出管（43），所述冷凝器气体进管（41）与所述第二过滤器出管（232）相连通，所述冷凝器液体出管（43）连接有氯硅烷存储罐（6），所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器A下通气管（2112）、吸附器B下通气管（2122）和吸附器C下通气管（2132）相连通，所述冷凝器气体出管（42）上设有控制所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器A下通气管（2112）通断的吸附器A反吹气回流阀（421）、控制所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器B下通气管（2122）通断的吸附器B反吹气回流阀（422）和控制所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器C下通气管（2132）通断的吸附器C反吹气回流阀（423）。