[实用新型]导热结构及加热蒸发组件有效
| 申请号： | 201721751082.9 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207760417U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘壮;张撷秋;杨世航;黄俏俏 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种导热结构，包括若干根导热管，每根所述导热管为内部中空且具有开口的管状体，所述若干根导热管的外壁相互贴合固定，并且贴合在一起的所述若干根导热管的径向方向的截面形状呈格栅形状。本实用新型还提供了一种加热蒸发组件，包括坩埚和上述的导热结构，所述导热结构的形状尺寸与所述坩埚匹配，所述导热结构设置于所述坩埚内，且所述导热结构最外围的所述导热管的外壁与所述坩埚的内壁接触。本实用新型所提供的一种导热结构及加热蒸发组件，利用多根导热管组成导热结构，形成多个子蒸发体，可减少子蒸发体之间的干扰，还可将临近加热源的坩埚壁热量快速传导坩埚内部，促进在非平衡态下的温度场均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 导热结构 导热管 坩埚 本实用新型 加热蒸发 蒸发体 外壁 温度场均匀性 非平衡态 格栅形状 截面形状 内壁接触 内部中空 贴合固定 管状体 加热源 坩埚壁 贴合 传导 匹配 开口 外围 | ||
【主权项】：
1.一种导热结构，其特征在于，包括若干根导热管(10)，每根所述导热管(10)为内部中空且具有开口(11)的管状体，所述若干根导热管(10)的外壁(12)相互贴合固定，并且贴合固定在一起的所述若干根导热管(10)的径向方向的截面形状呈格栅形状。
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