[实用新型]一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201721752635.2 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207552434U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 朱朋建;孙红霞;胡超;舒毅;潘登;陈凡;徐国军 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张应 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置，包括：用于向衬底溅射的靶材；位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元，所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。通过在靶材与衬底之间设置阻挡单元，可通过阻挡单元对靶材特定部位进行阻挡，使得被阻挡部位溅射到衬底上形成膜层的厚度得以降低，即通过灵活设置阻挡单元的位置，使得衬底上溅射形成的膜层厚度一致性较好，提高膜层的均匀性，从而满足产业化生产的实际需要。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 阻挡单元 靶材 溅射 膜层 溅射镀膜装置 太阳能电池 正投影 阻挡 本实用新型 产业化生产 厚度一致性 灵活设置 均匀性 重合 对靶 | ||
【主权项】：
1.一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置包括：用于向衬底溅射的靶材；位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元，所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。
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