[实用新型]硅料切割液回收供液系统

摘要

本实用新型公开了一种硅料切割液回收供液系统，其包括若干个成品液罐、至少一台线切机、收集罐、压滤机、清液罐和事故池。本实用新型的优点在于，若某个成品液罐发生故障，则其他成品液罐接替完成供液工作，确保切割液供应工作可持续进行；通过在线电导率仪和在线浊度仪对成品液罐内的切割液进行电导率及浊度的检测，若成品液罐内的切割液仅浊度不符合供应要求，开启排液阀，将不合格切割液通过事故管道引至收集罐进行再次回收处理，不影响其他批次切割液的正常供应，避免了资源浪费，降低了环境污染；若成品液罐内的切割液浊度及电导率等指标均不符合供应要求，开启排液阀，将不合格切割液通过事故管道引至事故池进行处理。

主权项

1.硅料切割液回收供液系统，其特征在于，其包括若干个成品液罐、至少一台线切机、收集罐、压滤机、清液罐和事故池，每个所述成品液罐的出口分别通过供液阀依次与供液泵的进口连接，所述供液泵的出口与所述线切机的切割液进口，所述线切机的切割液出口与所述收集罐的进口连接，所述收集罐的出口通过增压泵与所述压滤机的进口连接，所述压滤机的滤液出口与所述清液罐的进口连接，所述清液罐的出口通过中转泵与每个所述成品液罐的进口连接，所述中转泵出口至每个所述成品液罐进口之间的管道上均设有一个进液阀；每个所述成品液罐的排液口分别通过排液阀与事故管道的进口连接，所述事故管道上依次设有事故泵和事故单向阀，所述事故管道的出口通过事故阀与所述事故池的进口连接，所述事故管道的出口还通过收集阀与所述收集罐连接。