[实用新型]自带密封门的推送机构和带该机构的反应炉有效
申请号: | 201721755953.4 | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN207699664U | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 王晨光;张勇;王凯;余仲 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/513 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 尹彦;胡朝阳 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自带密封门的推送机构,其包括水平布置的传送轨道(11)、受传送轨道驱动并沿轨道移动的基座(12),水平固定在基座上的悬臂(13),水平固定在悬臂顶端的可伸入反应炉炉膛中的硅片舟托架(2),所述悬臂上套接一个密封门(1);本实用新型还公开了一种带所述推送机构的反应炉;与现有技术相比,本实用新型推送机构自带密封门,在将石墨舟推入炉膛的同时就封堵上炉膛门,加快了工艺进程,节省了推送机构进出一次炉膛的时间、和一段升温的时间,提高了反应炉产能;避免炉膛因开门时间过长而造成的热能流失,节约了大量能源。 | ||
搜索关键词: | 推送机构 反应炉 密封门 炉膛 本实用新型 自带 传送轨道 水平固定 悬臂 工艺进程 轨道移动 热能流失 水平布置 悬臂顶端 一次炉膛 硅片舟 上炉膛 石墨舟 产能 封堵 上套 伸入 推入 托架 开门 驱动 节约 能源 | ||
【主权项】:
1.一种自带密封门的推送机构,其特征在于包括:水平布置的传送轨道(11)、受传送轨道驱动并沿轨道移动的基座(12),水平固定在基座上的悬臂(13),水平固定在悬臂顶端的可伸入反应炉炉膛中的硅片舟托架(2),所述悬臂上套接一个密封门(1)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的