[实用新型]太阳能电池共蒸镀生产线有效
| 申请号： | 201721780279.5 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207676897U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 林健;齐维滨;朱凯 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;解立艳 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能电池共蒸镀生产线，其包括底托周转线、基板周转线和主控室，其中底托周转线上设置有底托上线口和底托下线口；基板周转线与共蒸镀设备相连，基板周转线上设置有上料口和下料口，上料口和下料口均与底托周转线相连；主控室用于控制底托周转线和基板周转线动作。本实用新型提供的太阳能电池共蒸镀生产线，通过设置底托周转线和基板周转线，实现了对CIGS薄膜电池在共蒸镀工序的自动化周转和加工，同时实现了底托的自动循环流转，节省了人力，提高了生产效率，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 周转 底托 基板 蒸镀 太阳能电池 本实用新型 上料口 下料口 主控室 生产效率 蒸镀设备 自动循环 下线口 流转 上线 生产成本 自动化 电池 节约 加工 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池共蒸镀生产线，其特征在于，包括：底托周转线，所述底托周转线上设置有底托上线口和底托下线口；基板周转线，所述基板周转线与共蒸镀设备相连，所述基板周转线上设置有上料口和下料口，所述上料口和所述下料口均与所述底托周转线相连；主控室，用于控制所述底托周转线和所述基板周转线动作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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