[实用新型]一种滤光片剥离机构

摘要

本实用新型涉及一种滤光片剥离机构，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述X轴导轨不在同一水平面上；所述旋转机构与所述张紧机构齿轮外啮合连接，所述旋转机构与所述Y轴导轨滑动连接；所述顶升机构与所述X轴导轨滑动连接。本实用新型通过设置不同长度的顶针设置于所述晶圆盘的下方，顶针顶起晶圆盘上晶圆，使晶圆与晶圆盘的膜分离，实现了机械手吸嘴吸取晶圆更加方便的目的，又通过调整张紧环来达到张紧晶圆盘上的膜，防止晶圆盘倾斜的目的。

主权项

1.一种滤光片剥离机构，其特征在于，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述X轴导轨不在同一水平面上；所述旋转机构与所述张紧机构外啮合连接，所述旋转机构与所述Y轴导轨滑动连接；所述顶升机构与所述X轴导轨滑动连接；所述视觉模块设置于所述张紧机构的上部，所述视觉模块：用于定位晶圆盘中晶圆；所述顶升机构包括顶升座、固定于所述顶升座上的顶升套筒、一晶圆盘吸嘴、第一顶针、第二顶针、第三顶针和顶针座；所述第一顶针、所述第二顶针及所述第三顶针皆设有一固定端及一顶起端，所述第一顶针的固定端、所述第二顶针的固定端及所述第三顶针的固定端皆固定于所述顶针座上；所述晶圆盘吸嘴设置于所述顶升套筒的一端，且所述晶圆盘吸嘴中间设有一顶升孔，所述第一顶针的顶起端、所述第二顶针的顶起端及所述第二顶针的顶起端能够自所述顶升孔中伸出并高于所述顶升孔的上平面；所述第一顶针的高度、所述第二顶针的高度及所述第三顶针的高度有高度差。