[实用新型]一种槽式硅片制绒机台载具

摘要

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种槽式硅片制绒机台载具，包括：载具主体，载具主体的两个侧壁上分别设置一个连接杆，每个连接杆可绕连接在载具主体的一端转动；每个连接杆未连接载具主体的一端分别与一压杆连接，压杆套设在两根连接杆之间；于载具主体的两个侧壁上设置一工作位，两个工作位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，连接杆带动压杆放置在所述工作位上；于载具主体的两个侧壁上设置一闲置位，两个闲置位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，连接杆带动压杆放置在闲置位上。解决了压杆放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染的问题，并且节约了制程时间，提高了产品的生产效率。

主权项

1.一种槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：包括：载具主体，所述载具主体的两个侧壁上分别设置一个连接杆，每个所述连接杆可绕连接在所述载具主体的一端转动；每个所述连接杆未连接所述载具主体的一端分别与一压杆连接，所述压杆套设在两根所述连接杆之间；于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一工作位，两个所述工作位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述工作位上；于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一闲置位，两个所述闲置位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述闲置位上。