[实用新型]一种砷化镓位错腐蚀加热设备有效
| 申请号： | 201721784262.7 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207958549U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王彤涵;赵敬平;许兴;马远飞 | 申请（专利权）人： | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 065001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种砷化镓位错腐蚀加热设备，包括铁质工形件、环形保温层、加热装置和带有坩埚盖的坩埚。铁质工形件包括环形件、桶形工件和板形件，桶形工件的下端固定在板形件的中间部位，环形件环绕桶形工件的上端设置，坩埚开口向上地位于桶形工件内部，环形保温层位于环形件和板形件之间且环绕桶形工件设置，加热装置位于板形件的下方，且与桶形工件位置相对。本实用新型的砷化镓位错腐蚀加热设备，通过加热铁质“工件”来加热坩埚，增大了热容，即使放入较多的砷化镓单晶样片也不会使氢氧化钾凝结，增加了自身的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 桶形工件 板形件 加热设备 环形件 砷化镓 铁质 位错 本实用新型 环形保温层 加热装置 工形件 腐蚀 坩埚 环绕 砷化镓单晶 加热坩埚 开口向上 氢氧化钾 使用效率 位置相对 上端 坩埚盖 放入 热容 下端 加热 凝结 | ||
【主权项】：
1.一种砷化镓位错腐蚀加热设备，其特征在于，包括铁质工形件(1)、环形保温层(2)、加热装置(3)和带有坩埚盖的坩埚(4)；所述铁质工形件(1)包括环形件(10)、桶形工件(20)和板形件(30)，所述桶形工件(20)的下端固定在所述板形件(30)的中间部位，所述环形件(10)环绕所述桶形工件(20)的上端设置，所述坩埚(4)开口向上地位于所述桶形工件(20)内部，所述环形保温层位于所述环形件(10)和所述板形件(30)之间且环绕所述桶形工件(20)设置，所述加热装置(3)位于所述板形件(30)的下方，且与所述桶形工件(20)位置相对。
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