[实用新型]用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备

摘要

本实用新型公开用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，解决现有技术在对孔径低于0.8mm的拉丝模进行CVD涂层时涂层质量和涂层成品率低以及涂层设备价格昂贵的问题。本实用新型包括真空炉底座、真空炉、正电极架、负电极架、支架、工装台、主正电极杆、上正电极杆、下正电极杆、上正电极高温弹簧组、上正电极高温弹簧、下正电极高温弹簧组、下正电极高温弹簧、主负电极杆、上负电极杆、下负电极杆、上负电极高温弹簧组、上负电极高温弹簧、下负电极高温弹簧组、下负电极高温弹簧、上钽丝和下钽丝。本实用新型设计科学合理，对孔径不大于0.8mm的微孔拉丝模进行涂层时，涂层质量佳，涂层成品率高，涂层设备价格低廉。

主权项

1.用于加工微孔CVD金刚石涂层拉丝模的CVD涂层设备，其特征在于：包括内底部设真空炉底座(2)的真空炉(1)，平行相对设有所述真空炉底座(2)上的正电极架和负电极架，以及垂直等距并排固定于所述真空炉底座(2)上并位于所述正电极架和所述负电极架之间的四个支架(5)，四个所述支架(5)形成的支架排横向分布于所述正电极架和所述负电极架之间，每个所述支架(5)的顶部均固定有一个用于固定待加工微孔拉丝模的工装台(6)，所有所述工装台(6)均垂直分布于所述正电极架和述负电极架之间；所述正电极架包括均绝缘密封垂直固定于所述真空炉底座(2)上且相互平行的一对主正电极杆(3)，以及均垂直连接于该对所述主正电极杆(3)之间且上下正对的上正电极杆(7)和下正电极杆(9)，所述上正电极杆(7)和所述下正电极杆(9)之间的竖直距离与固定于所述工装台(6)上的固定待加工微孔拉丝模相对应；每根所述上正电极杆(7)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的上正电极高温弹簧组，每组所述上正电极高温弹簧组包括两根上正电极高温弹簧(11)，并且该两根所述上正电极高温弹簧(11)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的上部两侧，每根所述下正电极杆(9)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的下正电极高温弹簧组，每组所述下正电极高温弹簧组包括两根下正电极高温弹簧(12)，并且该两根所述下正电极高温弹簧(12)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的下部两侧；所述负电极架包括均绝缘密封垂直固定于所述真空炉底座(2)上且相互平行的一对主负电极杆(4)，以及均垂直连接于该对所述主负电极杆(4)之间且上下正对的上负电极杆(8)和下负电极杆(10)，所述上负电极杆(8)和所述下负电极杆(10)之间的竖直距离与固定于所述工装台(6)上的固定待加工微孔拉丝模相对应，并且所述上正电极杆(7)与所述上负电极杆(8)处于同一竖直高度，所述下正电极杆(9)与所述下负电极杆(10)处于同一竖直高度；每根所述上负电极杆(8)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的上负电极高温弹簧组，每组所述上负电极高温弹簧组包括两根上负电极高温弹簧(13)，并且该两根所述上负电极高温弹簧(13)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的上部两侧，每根所述下负电极杆(10)上等距分布有四组分别与四个所述工装台(6)相对应的下负电极高温弹簧组，每组所述下负电极高温弹簧组包括两根下负电极高温弹簧(14)，并且该两根所述下负电极高温弹簧(14)分别位于相应所述工装台(6)上的待加工微孔拉丝模的下部两侧；每一根所述上正电极高温弹簧(11)分别对应一根所述上负电极高温弹簧(13)，并且相对应的上正电极高温弹簧(11)和上负电极高温弹簧(13)之间连接有一根呈水平状态的上钽丝(15)，每一根所述下正电极高温弹簧(12)分别对应一根所述下负电极高温弹簧(14)，并且相对应的下正电极高温弹簧(12)和下负电极高温弹簧(14)之间连接有一根呈水平状态的下钽丝(16)，使每一个工装台(6)上的待加工微孔拉丝模上部分布有两根上钽丝(15)、下部分布有两根下钽丝(16)，所有上钽丝(15)和所有下钽丝(16)分别与相对应工装台(6)上的待加工微孔拉丝模之间的垂直距离为相应待加工微孔拉丝模孔径的2.35倍。