[实用新型]一种芯片测试机上的真空除尘结构有效
申请号: | 201721787488.2 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN207769407U | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 晏云飞;陈迎涛;周俊;张伟军 | 申请(专利权)人: | 上海伟测半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01D46/02 | 分类号: | B01D46/02;B01D46/04 |
代理公司: | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人: | 朱九皋 |
地址: | 201201 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种芯片测试机上的真空除尘结构,包括箱体、真空泵、引风机、网孔板、除尘滤袋、阀门、灰斗、滤袋框架、喷吹管、脉冲电磁阀、气包、控制仪和出气嘴,所述真空泵与箱体连接,所述引风机设置在箱体内部上侧,所述网孔板设置在箱体内部,所述滤袋框架设置在网孔板下端,所述除尘滤袋设置在滤袋框架内部,所述灰斗设置在箱体内部下端,所述阀门设置在灰斗下端,所述喷吹管设置在箱体内部上侧,所述气包通过气管与喷吹管连接,所述脉冲电磁阀安装于气管上,所述控制仪与脉冲电磁阀电性连接,所述喷吹管下端设置出气嘴,该设计可将箱体内部的灰尘排出出去,进行重复地真空除尘。 | ||
搜索关键词: | 箱体内部 喷吹管 下端 脉冲电磁阀 滤袋框架 网孔板 灰斗 除尘结构 除尘滤袋 芯片测试 出气嘴 控制仪 引风机 真空泵 气包 气管 本实用新型 电性连接 阀门设置 箱体连接 除尘 阀门 排出 重复 | ||
【主权项】:
1.一种芯片测试机上的真空除尘结构,包括装置主体和喷吹机构(6),其特征在于:所述装置主体包括箱体(1)、真空泵(2)、引风机(3)、网孔板(5)、除尘滤袋(7)、阀门(8)、灰斗(9)和滤袋框架(13),所述真空泵(2)与箱体(1)连接,所述引风机(3)设置在箱体(1)内部上侧,所述网孔板(5)设置在箱体(1)内部,所述滤袋框架(13)设置在网孔板(5)下端,所述除尘滤袋(7)设置在滤袋框架(13)内部,所述灰斗(9)设置在箱体(1)内部下端,所述阀门(8)设置在灰斗(9)下端;所述喷吹机构(6)设置在箱体(1)内部,所述喷吹机构(6)包括喷吹管(61)、脉冲电磁阀(62)、气包(63)、控制仪(64)和出气嘴(65),所述喷吹管(61)设置在箱体(1)内部上侧,所述气包(63)通过气管与喷吹管(61)连接,所述脉冲电磁阀(62)安装于气管上,所述控制仪(64)与脉冲电磁阀(62)电性连接,所述喷吹管(61)下端设置出气嘴(65)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海伟测半导体科技有限公司,未经上海伟测半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201721787488.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:布袋式除尘装置
- 下一篇:一种便于更换的除尘袋的除尘装置