[实用新型]一种芯片扫描电镜样品台有效
| 申请号： | 201721789853.3 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207868156U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 汤剑波;张伟 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种芯片扫描电镜样品台，包括安装座和基板，安装座底部通过调节螺栓活动安装在基板上，基板的四周分别设置有倒装的沉头螺栓，安装座上设置有多个平行的通槽，安装座与通槽平行的两侧设置有贯穿的固定通孔，通槽的一侧面上设置有挡板。本实用新型结构简单，可以同时嵌入多个样品，同时进行涂层和观察，可有效节约时间和消耗品成本。 | ||
| 搜索关键词： | 安装座 基板 通槽 电镜样品 芯片扫描 平行 本实用新型 挡板 螺栓 沉头螺栓 固定通孔 活动安装 两侧设置 消耗品 倒装 嵌入 贯穿 节约 观察 | ||
【主权项】：
1.一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于，包括安装座(1)和基板(2)，所述安装座(1)底部通过调节螺栓(3)活动安装在基板(2)上，所述基板(2)的四周分别设置有倒装的沉头螺栓(4)，所述安装座(1)上设置有多个平行的通槽(5)，所述安装座(1)与通槽(5)平行的两侧设置有贯穿的固定通孔(6)，所述通槽(5)的一侧面上设置有挡板(7)。
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