[实用新型]辉光放电离子源装置有效

专利信息
申请号: 201721791798.1 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN207602516U 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 郜武;魏文 申请(专利权)人: 北京雪迪龙科技股份有限公司
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10
代理公司: 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 代理人: 刘国伟;王月春
地址: 102206 北京市昌*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种辉光放电离子源装置。该装置包括电极部和绝缘部。电极部包括加载正电压的阳极和加载负电压的阴极;阳极顶部和阴极底部形成真空状态的放电间隙。阴极底部设有与放电间隙相通的阴极孔,顶部设有与阴极孔相通的试剂入口。阳极设有真空腔;阳极顶部设有与放电间隙和真空腔相通的真空差分孔,底部设有与真空腔相通的物料入口。绝缘部将阳极和阴极隔开,一端连接阳极顶部,另一端连接阴极底部。该装置安装在化学电离质谱仪前端,产生试剂离子,电离被测物质。该装置能够确保电极部实际位置关系的精度,提供一个绝缘并具有密封性能的结构,使得在施加较大电压的情况下,不至于击穿,在密闭空间中的稀薄气体可以发生辉光放电反应。
搜索关键词: 阴极 阳极 放电间隙 电极部 真空腔 相通 辉光放电离子源装置 一端连接 绝缘 本实用新型 化学电离 辉光放电 密闭空间 密封性能 实际位置 试剂离子 试剂入口 物料入口 稀薄气体 真空状态 装置安装 电离 绝缘部 正电压 质谱仪 分孔 隔开 击穿 加载 施加
【主权项】:
1.一种辉光放电离子源装置,其特征在于,包括:电极部,包括阳极和阴极,所述阳极加载正电压,所述阴极加载负电压;所述阳极的顶部和所述阴极的底部之间形成真空状态的放电间隙,用于辉光放电;所述阴极的底部设有阴极孔,顶部设有试剂入口,所述试剂入口与所述阴极孔相通,所述阴极孔与所述放电间隙相通;所述阳极设有真空腔,为真空环境,用于存放被测物质;所述阳极的顶部设有真空差分孔,底部设有与所述真空腔相通的物料入口;所述真空差分孔的一端与所述放电间隙相通,另一端与所述真空腔相通;绝缘部,一端连接所述阳极的顶部,另一端连接所述阴极的底部,将所述阳极和所述阴极隔开。
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