[实用新型]一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚、下支撑板、安装板、降温辊、上支撑板和加热箱体，所述安装板下端两侧均安装有下支撑板，所述下支撑板下端前后两侧均安装有防滑支脚，所述安装板中间位置处安装有降温辊，所述降温辊中间位置处安装有中间转动轴，所述安装板前表面安装有散热风机，所述安装板上端安装有上支撑板，所述上支撑板内侧安装有限位板，且限位板中间位置处安装有加热箱体，所述加热箱体内部安装有加热装置，所述加热箱体下端安装有液压阀门。本实用新型能通过加热箱体将氮化硅进行加热，通过加热箱体下端的出料口流出，通过下端的降温辊将氮化硅的温度下降，就能够凝聚成氮化硅薄膜，制作方便且简单。

主权项

1.一种太阳能电池用氮化硅膜制备设备，包括防滑支脚(1)、下支撑板(2)、安装板(4)、降温辊(5)、上支撑板(6)和加热箱体(8)，其特征在于：所述安装板(4)下端两侧均安装有下支撑板(2)，所述下支撑板(2)下端前后两侧均安装有防滑支脚(1)，所述下支撑板(2)内侧下端安装有安装扣件(12)，所述安装扣件(12)之间通过收集箱体(3)连接，所述安装板(4)中间位置处安装有降温辊(5)，所述降温辊(5)中间位置处安装有中间转动轴(13)，所述安装板(4)前表面安装有散热风机(11)，所述安装板(4)上端安装有上支撑板(6)，所述上支撑板(6)内侧安装有限位板(7)，且限位板(7)中间位置处安装有加热箱体(8)，所述加热箱体(8)内部安装有加热装置(9)，所述加热装置(9)位于加热箱体(8)内部安装有加热盘管(16)，所述加热盘管(16)一侧上端安装有盘管正极(17)，所述加热盘管(16)一侧下端安装有盘管负极(19)，且盘管正极(17)和盘管负极(19)之间通过盘管安装板(18)连接，所述加热箱体(8)下端安装有液压阀门(10)。