[实用新型]一种气密性检测设备有效
| 申请号： | 201721798476.X | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207556773U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 周志刚;周阳;陈龙;柯君;耿飒;曾德春;江湖;宋新国 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张应 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气密性检测设备，本实用新型提供的气密性检测设备，通过密封装置与基座密封贴合形成密封空间，并通过抽真空装置对密封空间抽真空，然后通过气体检测装置检测密封空间之外气体是否进入密封空间之内，以此判定基座的气密性；本实用新型结构简单，操作方便，能实现每次更换靶材之后的基座的离线检漏，而且，能够快速实现密封空间的抽真空和破真空，大大缩短生产周期，节省时间，以及可减少防化服的使用，节省资源，减少环境污染；另外，通过滚轮可实现灵活移动，方便使用。 | ||
| 搜索关键词： | 密封空间 本实用新型 密性检测 抽真空 气密性检测设备 气体检测装置 缩短生产周期 抽真空装置 节省资源 灵活移动 密封贴合 防化服 破真空 气密性 靶材 滚轮 检漏 离线 判定 检测 | ||
【主权项】：
1.一种气密性检测设备，用于检测安装有靶材的基座的气密性，其特征在于，所述气密性检测设备包括：支架；用于与所述基座密封贴合的密封装置，所述密封装置与所述基座之间形成密封空间，所述密封装置设置在所述支架上；用于对所述密封空间抽真空的抽真空装置；用于检测所述密封空间内气体的气体检测装置。
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