[实用新型]石墨盘装载料片的装置有效
| 申请号： | 201721800478.8 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207765422U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 向军;冯霞霞 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人： | 袁兴隆 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区隐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种石墨盘装载料片的装置，包括输送台，用于输送料片；石墨盘放置台，设置在输送台的末端的一侧，用于放置石墨盘；料片装载机构，设置在所述输送台的中部位于所述石墨盘放置台的同侧，用于将所述输送台上的料片取放至所述石墨盘放置台上的石墨盘上；石墨盘收发料机构，用于发放待装载的石墨盘和收取已装载的石墨盘；放置台转移机构，用于在所述料片装载机构和所述石墨盘收发料机构之间移动所述石墨盘放置台，通过自动化的设置，使得石墨盘装载料片的操作避免了人工参与，大大降低了操作人员的劳动强度，同时提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨盘 料片 放置台 装载 输送台 装载机构 收发 本实用新型 工作效率 人工参与 转移机构 取放 同侧 自动化 发放 移动 | ||
【主权项】：
1.一种石墨盘装载料片的装置，其特征在于：包括输送台（1），用于输送料片（3）；石墨盘放置台（2），设置在输送台（1）的末端的一侧，用于放置石墨盘；料片装载机构，设置在所述输送台（1）的中部位于所述石墨盘放置台（2）的同侧，用于将所述输送台（1）上的料片（3）取放至所述石墨盘放置台（2）上的石墨盘上；石墨盘收发料机构，用于发放待装载的石墨盘和收取已装载的石墨盘；放置台转移机构，用于在所述料片装载机构和所述石墨盘收发料机构之间移动所述石墨盘放置台（2）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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