[实用新型]防水罩和晶圆处理装置有效
| 申请号： | 201721804707.3 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207672153U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 孙飞;胡平;杨福全 | 申请（专利权）人： | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201821 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种防水罩和一种晶圆处置装置，所述防水罩用于放置于晶圆处理腔室上方，所述晶圆处理腔室顶部具有一窥视孔，所述晶圆处理腔室上方具有一红外测温仪，所述红外测温仪用于向晶圆处理腔室内发射红外光，形成一垂直于窥视孔的光路，所述防水罩包括：竖直水挡，竖直水挡中部漏空，用于放置于所述窥视孔的四周，使所述窥视孔位于所述竖直水挡的漏空处底部；横向水挡，所述横向水挡包括倾斜部和水平部，所述横向水挡固定于所述竖直水挡中部漏空处顶部，当所述防水罩放置于所述晶圆处理腔室上方时，所述横向水挡遮盖所述窥视孔，所述倾斜部与所述光路位置相对应，所述倾斜部为透明结构。这种防水罩能够阻止水滴溅入窥视孔，提升晶圆处理效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 防水罩 窥视孔 晶圆 处理腔室 横向水挡 竖直 水挡 倾斜部 漏空 红外测温仪 红外光 晶圆处理装置 处理效率 处置装置 光路位置 透明结构 处理腔 水平部 水滴 光路 种晶 遮盖 垂直 室内 发射 | ||
【主权项】：
1.一种防水罩，用于放置于晶圆处理腔室上方，所述晶圆处理腔室顶部具有一窥视孔，所述晶圆处理腔室上方具有一红外测温仪，所述红外测温仪用于向所述晶圆处理腔室内发射红外光，形成一垂直于所述窥视孔的光路，其特征在于，所述防水罩包括：竖直水挡，所述竖直水挡中部漏空，用于放置于所述窥视孔的四周，使所述窥视孔位于所述竖直水挡的漏空处底部；横向水挡，所述横向水挡包括倾斜部和水平部，所述横向水挡固定于所述竖直水挡漏空处顶部，当所述防水罩放置于所述晶圆处理腔室上方时，所述横向水挡遮盖所述窥视孔，所述倾斜部与所述光路位置相对应，所述倾斜部为透明结构。
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