[实用新型]硅基微气相色谱柱有效
| 申请号： | 201721816759.2 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN207623299U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 冯飞;罗凡;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N30/60 | 分类号： | G01N30/60 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种硅基微气相色谱柱，在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林，纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积，从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、分离度和柱效。 | ||
| 搜索关键词： | 色谱柱 硅纳米线 硅基 微气 本实用新型 分离度 纳米线 内表面 微沟道 有效地 柱容量 森林 线径 制备 柱效 | ||
【主权项】：
1.一种硅基微气相色谱柱，其特征在于，包括：硅衬底；微沟道，形成于所述硅衬底中；微流控端口，形成于所述微沟道两端；硅纳米线森林，制备于所述微沟道内；以及封装盖板，键合于所述硅衬底表面，以封闭所述微沟道，形成硅基微气相色谱柱的微通道。
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