[实用新型]一种光学真空镀膜系统有效
| 申请号： | 201721840999.6 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207619518U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 王海龙 | 申请（专利权）人： | 昆明沃特隆光学仪器制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 651700 云南省昆明市嵩明县杨林*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及材料加工装置技术领域，目的在于提供一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。所采用的技术方案是：一种光学真空镀膜系统，包括真空室、真空泵和侧窗板，所述侧窗板的底边与真空室侧壁铰接；所述侧窗板内壁设置环形牵引链，所述牵引链的水平段设置导轨；所述牵引链远离侧窗板的一侧设置与侧窗板垂直的套筒，所述套筒一端与牵引链焊接、另一端与夹持机构连接；所述侧窗板内壁设置横隔板，所述横隔板将牵引链分隔成上方的第一镀膜部和下方的第二镀膜部，所述第一镀膜部和第二镀膜部均设置蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L型杆顶部的蒸镀喷头，所述L型杆底部远离其拐折部的一端与伺服电机的竖直转轴焊接。本实用新型镀膜均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 侧窗板 镀膜 牵引链 真空镀膜系统 本实用新型 蒸镀装置 横隔板 内壁 套筒 焊接 材料加工装置 喷头 真空室侧壁 夹持机构 竖直转轴 伺服电机 垂直的 拐折部 水平段 真空泵 真空室 导轨 铰接 蒸镀 分隔 | ||
【主权项】：
1.一种光学真空镀膜系统，其特征在于：包括真空室（1），所述真空室（1）设置真空泵（2）和侧窗板（3），所述侧窗板（3）的底边与真空室（1）侧壁铰接；所述侧窗板（3）内壁设置环形的牵引链（4），所述牵引链（4）的水平段设置导轨（5）；所述牵引链（4）远离侧窗板（3）的一侧设置与侧窗板（3）垂直的套筒（6），所述套筒（6）一端与牵引链（4）焊接、另一端与夹持机构（7）连接；所述侧窗板（3）内壁设置横隔板（8），所述横隔板（8）将牵引链（4）分隔成上方的第一镀膜部（9）和下方的第二镀膜部（10），所述第一镀膜部（9）和第二镀膜部（10）均设置有蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L型杆（11）顶部的蒸镀喷头（12），所述L型杆（11）底部远离其拐折部的一端与伺服电机（13）的竖直转轴焊接。
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