[实用新型]改进型石墨坩埚有效
申请号: | 201721842086.8 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN207632923U | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 芮敏之 | 申请(专利权)人: | 美尔森先进石墨(昆山)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种改进型石墨坩埚,用于多晶硅铸锭炉中,包括四个侧板和底板,所述底板定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内底部,所述侧板为长方形板状结构,四个侧板的侧边相互连接形成两端开口的长方体筒状结构,所述筒状结构的上端开口定位于铸锭炉的顶部,其下端开口置于所述底板上,所述侧板上设有若干透气孔,且其外侧设有一层保温层。本实用新型在侧板的上端开设有一排透气孔,而取代了之前开口式设计,使得进出气时带走的热量更少,坩埚内各处的热量分布更加平衡,从而能够得到质量更佳的硅锭。 | ||
搜索关键词: | 侧板 底板 本实用新型 石墨坩埚 改进型 透气孔 铸锭炉 长方形板状结构 多晶硅铸锭炉 长方体筒状 开口式设计 两端开口 热量分布 上端开口 筒状结构 下端开口 保温层 进出气 上端 侧边 硅锭 炉腔 坩埚 体内 平衡 | ||
【主权项】:
1.一种改进型石墨坩埚,用于多晶硅铸锭炉中,其特征在于:包括四个侧板(10)和底板(20),所述底板(20)定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内底部,所述侧板(10)为长方形板状结构,四个侧板(10)的侧边相互连接形成两端开口的长方体筒状结构,所述筒状结构的上端开口定位于铸锭炉的顶部,其下端开口置于所述底板上,所述侧板上设有若干透气孔(11),且其外侧设有一层保温层(30)。
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