[实用新型]一种激光陀螺腔体清洗装置有效
申请号: | 201721852133.7 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN207872690U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 王利伟;张红波;王鹏 | 申请(专利权)人: | 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所) |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00 |
代理公司: | 武汉凌达知识产权事务所(特殊普通合伙) 42221 | 代理人: | 刘念涛;宋国荣 |
地址: | 430223 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种激光陀螺腔体清洗装置,包括用于承载激光陀螺腔体的腔体固定工装、用于使腔体内的氦氖气体放电的直流电源以及用于腔体内气体置换的真空台,还包括分别位于腔体两侧端面上用于给腔体加载射频能量的第一外置电极板和第二外置电极板,真空台与腔体气密连接,第一外置电极板和第二外置电极板通过同轴线缆依次连接有射频匹配器和射频电源;本实用新型使得腔体每条毛细孔均得到辉光放电清洗,射频辉光放电清洗的过程不受激光陀螺自身的放电系统的限制,且射频等离子体的能量高、功率强度调节方便,工艺时间短,有效的延长了激光陀螺的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 电极板 外置 激光陀螺腔体 腔体 辉光放电清洗 本实用新型 激光陀螺 清洗装置 真空台 射频等离子体 射频匹配器 放电系统 固定工装 氦氖气体 腔体两侧 强度调节 射频电源 射频能量 使用寿命 体内气体 同轴线缆 依次连接 直流电源 毛细孔 放电 加载 射频 置换 体内 承载 | ||
【主权项】:
1.一种激光陀螺腔体清洗装置,其特征在于:包括用于承载激光陀螺腔体(9)的腔体固定工装(4)、用于使腔体(9)内的氦氖气体放电的直流电源(5)以及用于腔体(9)内气体置换的真空台(7),还包括分别位于腔体(9)两侧端面上用于给腔体(9)加载射频能量的第一外置电极板(6)和第二外置电极板(8),所述的真空台(7)与腔体(9)气密连接,所述的第一外置电极板(6)和第二外置电极板(8)通过同轴线缆(3)依次连接有射频匹配器(2)和射频电源(1)。
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