[实用新型]一种可改变硅片进出方向的硅片盒有效

专利信息
申请号: 201721855114.X 申请日: 2017-12-26
公开(公告)号: CN207883666U 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 金重玄 申请(专利权)人: 杭州大和热磁电子有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 尉伟敏;方琦
地址: 310053 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种可改变硅片进出方向的硅片盒,包括底板和盖板、置于底板和盖板之间的装片板,装片板为四件,包括两件固定式装片板和两件活动式装片板,两件固定式装片板呈90°相邻设置,活动式装片板以其自身一侧的轴线为旋转轴线,四件装片板分别对应且围合硅片盒的四个开口方向,装片板上设有水平状沟槽,硅片插设于沟槽内,本实用新型的硅片盒采用活动式装片板和固定式装片板的配合使用,通过活动式装片板的旋转开启和折叠,形成了硅片进出通道的改变,进而改变硅片切割痕方向,提高了硅片的加工质量。
搜索关键词: 片板 硅片 活动式装 硅片盒 装片 固定式装 底板 本实用新型 可改变 盖板 硅片切割 进出通道 开口方向 相邻设置 旋转开启 旋转轴线 水平状 折叠 插设 围合 加工
【主权项】:
1.一种可改变硅片进出方向的硅片盒,用于硅片(1)的转向控制,其特征在于:所述硅片盒包括平行设置的底板(2)和盖板(3)、置于底板和盖板之间且垂直于底板内表面的装片板,所述装片板为四件,包括两件固定式装片板(4)和两件活动式装片板(5),所述两件固定式装片板呈90°相邻设置,固定式装片板的底部固置于所述底板的内表面上,固定式装片板的顶部固置于所述盖板的内表面上,活动式装片板以其自身一侧的轴线为旋转轴线,所述旋转轴线位于固定装片板的远端位,折叠位的活动式装片板贴近对应的固定式装片板背面,打开位的活动式装片板则与对应的固定式装片板呈90°相邻设置,两两对应的四件装片板分别对应且围合硅片盒的四个开口方向,装片板上设有上下排布的水平状沟槽(6),四个装片板上的相应沟槽形成水平状的硅片容置槽,所述硅片插设于所述硅片容置槽内且搁置于所述沟槽上。
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